术语
2.0.1 洁净室(区) clean room(zone)
空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数和温度、湿度、压力等按要求进行控制。
2.0.2 悬浮粒子 airborne particles
用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1μm~5μm的固体和液体粒子。
1 粒径miacropartical size
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