一, 尘埃粒子计数器的注意事项.

1、当入口管被盖住或被堵塞，不要启动计数仪
2、不要测有可能产生反应的混合气体（如氢气和氧气）。这此气体也可能在计数器内产生爆炸。测这些气体需与厂家联系为取得更多的信息。
3、没有高压减压设备（如高压扩散器）不要取样压缩空气，所有的粒子计数器被设计用于在一个大气压下操作。
4、水，溶液或其它液体都不能从入口管进入传感器。
5、尘埃粒子计数器主要用来测试净化车间干净的环境，当测的地方有松散颗粒的材质，灰尘源，喷雾处时，须最少保持距进口管至少十二英寸远。以免以上的颗粒及液体污染传感器及管路。
6、取样时，僻免取样从计数器本身排出来的或被计数器出来的气体所污染的气体。
7、当有打印机时，连接外置打印机时，需先关掉计数器；当执行打印操作时，打印机上须有打印纸，否则会损伤打印头。
8、灵敏度在0.1微米的颗粒计数仪,如没有特别的预防,不能用于测大于1000级的净化车间.以免对其传感器损伤。

二，尘埃粒子计数器的的原理，应用及组成

1 引言
目前尘埃粒子计数器的用户越来越多，广泛应用于医药、电子、精密机械、彩管制造、微生物等行业中，实现对各种洁净等级的工作台、净化室、净化车间的净化效果、洁净级别进行监控，以确保产品的质量。
尘埃粒子计数器是用来测量空气中微粒的数量及大小的仪器，从而为空气洁净度的评定提供依据。常见的尘埃粒子计数器是光散射式（DAPC）的，测量粒径范围0.1-10μm，此外还有凝聚核式的尘埃粒子计数器（CNC），可测量尺寸更小的尘埃粒子。本文将介绍光散射式尘埃粒子计数器。

2 尘埃粒子计数器的的工作原理
空气中的微粒在光的照射下会发生散射，这种现象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波长、微粒折射率及微粒对光的吸收特性等因素有关。但是就散射光强度和微粒大小而言，有一个基本规律，就是微粒散射光的强度随微粒的表面积增加而增大。这样只要测定散射光的强度就可推知微粒的大小，就是光散射式粒子计数器的基本原理。
实际上，每个粒子产生的散射光强度很弱，是一个很小的光脉冲，需要通过光电转换器的放大作用，把光脉冲转化为信号幅度较大的电脉冲，然后再经过电子线路的进一步放大和甄别，从而完成对大量电脉冲的计数工作。此时，电脉冲数量对应于微粒的个数，电脉冲的幅度对应于微粒的大小。
图1表示了尘埃粒子数器的具体工作原理：来自光源的光线被透镜组1聚焦于测量腔内，当空气中的每一个粒子快速地通过测量腔时，便把入射光散射一次，形成一个光脉冲信号。这一光信号经过透镜组2被送到光检测器，正比地转换成电脉冲信号，再经过仪器电子线路的放大、甄别，拣出需要的信号，通过计数系统显示出来。

3 尘埃粒子计数器的的组成及各部分功能
3.1光源
光源是尘埃粒子数器的关键部件，对仪器的性能影响很大。光源要求稳定性高、寿命长、不受干扰。
光源有普通光源和激光光源两种。普通光源为碘钨灯，体积大、发热量高、寿命短，开机后需要预热。激光光源为激光器，体积小、稳定性高、寿命长，常与检测腔及光检测器做成一体，组成传感器。常见的激光光源有HeNe激光器、激光二极管。
采用普通光源的尘埃粒子计数器对0.3μm以下的微粒信号响应很低，其信号幅度与计数器本身的噪声幅度相差无几，信号很难从噪声中检测出来。此类仪器虽然标有0.3μm这一通道，但只适于测定大于0.3μm特别是0.5μm以上的微粒。
由于激光的单色性好，光能量集中稳定，所以采用激光光源的尘埃粒子计数器其传感器有较高的信噪比，此类仪器有些能检测到0.1μm的微粒。
3.2测量腔
测量腔是进行微粒观测的空间，被采集的空气要从测量腔内穿过。仪器的光学系统使光源经透镜、狭缝照射到测量腔中，形成一个体积约几个立方毫米的光敏感区。当空气中的尘埃通过光敏感区时，会散射出一部分光能量，被与入射光成一角度（90度或70度）的集光透镜收集，再投射到光检测器上。
3.3光检测器
光检测器是将散射光能量转换为电信号的光电转换器件。尘埃粒子计数器中最常用的光检测器是光电倍增管和光电二极管。
光电倍增管把光电子放大几万倍后转换成几个毫伏到几十毫伏的电信号，具有光谱线性好、响应时间快、暗电流小的优点，缺点是体积大。光电倍增管工作时需加上几百伏特的负高压，仪器中有相应的高压产生电路，在对仪器进行调试或校准时应注意安全。
光电二极管是一种受到光照后能产生电子的半导体元件，具有体积小、外围电路简单的特点，常与检测腔做成一体。
3.4流量监控
尘埃粒子计数器的采样流量一般为2.83L/min或28.3L/min，进口仪器常标识为0.1cfm（立方英尺每分钟）或1cfm，主要是为了便于进行符合Fed-Std-209E的洁净度的计算。
大流量的采样（28.3L/min）更能准确地反映空气的洁净状况，但使最大采样浓度降低。
3.5气泵及过滤器
气泵位于仪器内部，使仪器产生采样流量。气泵要求噪音低、振动小、产生的气流稳定。过滤器应能过滤掉0.3μm以上的微粒，以免从仪器排出的空气对洁净区产生影响。
3.6电路系统
不同粒径大小的粒子经尘埃粒子计数器的光电系统转换后，会产生不同幅度（电压）的电脉冲信号，粒径越大，脉冲电压越高。信号电压与粒径之间的关系，也叫转换灵敏度。对于给定的尘埃粒子计数器，粒径大小与脉冲电压是一一对应的，例如某台尘埃粒子计数器的转换灵敏度为0.3μm对应69mv，0.5μm对应531mv，1.0μm对应701mv等，若尘埃粒子计数器检测到一个脉冲为100mv，则这个粒子的大小肯定大于0.3μm而小于0.5μm。
尘埃粒子计数器是测量大于等于某一粒径的粒子数量的仪器，其内部电路就是统计大于等于某一电压值的脉冲数量的电路。对于上段中的例子，测量空气中大于等于0.3μm粒子的数量，在电路中就是统计大于等于69mv的脉冲的个数，测量大于等于0.5μm粒子的数量，在电路中就是统计大于等于531mv的脉冲的个数，依此类推。所以仪器对尘埃粒子的测量，主要靠转换灵敏度这个参数。
另外需要说明的是，每台尘埃粒子计数器的转换灵敏度均不同，在出厂时及以后须定期用标准粒子进行校准，以获得最佳转换灵敏度值。
电路系统就是完成对脉冲信号的放大、甄别、计数的电路。此外还包括电源、控制、显示、计算、打印等电路。

上海君达仪器环境检测部专业销售尘埃粒子计数器，现货供应尘埃粒子计数器，如对尘埃粒子计数器感兴趣，请拨打电话咨询：

上海：021-51692896，51691896

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1 本条条文规定洁净厂房在进行各项性能检测之前，净化空调系统及其相关的公用动力系统如冷热源供应、水电供应系统等都应达到稳定运行状态，这里强调“稳定”运行状态，在具体项目验收时应严格执行。

2 本条条文对检测用仪器仪表作出了明确的规定。

3 本条明确规定工程验收各阶段检测的目的，其规定的内容主要参照ISO14644-4《洁净室及受控环境的设计、建造和启动》制定，现将该标准中的相关内容摘录如下：
在设施施工期间和竣工时，应商定一系列的测试并做出相应规定，以便在设施投入使用前实施，并以文件形式记录在案。
施工验收，应该进行一系列系统的检验、调试、测量和测试，保证设施的各个部分都与设计要求相符。
功能验收，应该进行一系列测量和测试，确定设施的各个部分都能有效运行，达到“空态”或“静态”所要求的条件。
使用验收，应该进行一系列测量和测试，确定整个设施按规定的工艺或功能、有规定数目的人员以商定的方式进行工作时，达到了要求的“运行”性能。

4 本条提出单向流洁净室、非单向流洁净室测试项目，并在表中列出检测，必要时检测和不检测的推荐。表14.2.4是参照国际标准《洁净室及相关受控环境——测试方法》ISO14644-3的相关规定和结合国内洁净厂房工程验收的实际情况进行制定了。在附录B中推荐的洁净室性能测试清单、测试顺序等是参照ISO14644-3中的相应内容制定的。测试清单、测试顺序应由具体洁净厂房工程项目的建设单位与施工单位在合同约定中确定、签署的，一旦签署即成为合同的一部份，双方都应严格遵守。现将ISO14644-3中的要求摘录如下： 各种测试项目的选择和实施顺序
·这部分ISO 14644所说明的测试方法，可以用于检定用户所规定的设施的性能标准和用于定期测试。
在一定程度上可以根据设施的设计、运行状态、所要求的认证水平等因素选择测试项目。
应该由用户和供应商事先确定测试项目实施顺序，应能在洁净室不符合要求时，只付出了最低限度的工作量。
·测试检查清单，表14.2.3（表A.1）是测试及仪器的检查清单。测试顺序的细节应由用户与供应商一致同意。

表14.2.3  洁净设施测试项目和实施顺序（建议）

选择测试 方法和顺序	测试方法	测试方法 参照条款	选择测试仪器b	测试仪器	测试仪器 参照条款
	空气悬浮粒子计数（等级划分和检测）	B.1		离散粒子计数器（DPC）	C.1
	空气悬浮微粒子计数	B.2		凝结核粒子计数器(CNC)	C.2.1
				离散粒子计数器(DPC)	C.2.2
				小粒子清除装置	C.2.3
	空气悬浮宏粒子计数	B.3			C.3
	空气悬浮宏粒子的采集与计数	B.3.3.2		显微镜观测采过样的滤纸	C.3.1
				多级撞击器	C.3.2
	空气悬浮宏粒子计数（无采集）	B.3.3.3		离散粒子计数器(DPC)	C.3.3
				飞行时间粒子仪	C.3.4
	气流	B.4			C.4
	单向流设施的风速测量	B.4.2.2 和B.4.3		热风速计	C.4.1.1
				超声波风速计（3维或相当3维）	C.4.1.2
				旋翼风速计	C.4.1.3
				皮托管与压力计	C.4.1.4
	非单向流设施的送风风速测量	B.4.3.3		热风速计	C.4.1.1
				超声波风速计（3维或相当3维）	C.4.1.2
				叶片风速计	C.4.1.3
				皮托管与压力计	C.4.1.4
	过滤器下风向总风量测量	B.4.3.2		风罩式风量计	C.4.2.1
				孔板流速计	C.4.2.2
				文丘里流量计	C.4.21.3
	送风管风量测量	B.4.2.5		风罩式风量计	C.4.2.1
				孔板流速计	C.4.2.2
				文丘里流量计	C.4.21.3
				皮托管与压力计	C.4.1.4
	压差测量	B.5		电子微压计	C.5.1
				斜管压力计	C.5.2
				机械式压差计	C.5.3
	过滤器安装后检漏	B.6			C.6
	过滤器系统安装后检漏扫描	B.6.2和B.6.3		线性气溶胶光度计	C.6.1.1
				对数气溶胶光度计	C.6.1.2
				离散粒子计数器(DPC)	C.6.2
				气溶胶发生器	C.6.3
				气溶胶源物质	C.6.4
				稀释系统	C.6.5
				凝结核计数器	C.2.1
	安装在风管或空气处理机组上的过滤器之测试	B.6.4		线性气溶胶光度计	C.6.1.1
				对数气溶胶光度计	C.6.1.2
				离散粒子计数器(DPC)	C.6.2
				气溶胶发生器	C.6.3
				气溶胶物质	C.6.4
				稀释系统	C.6.5
				凝结核计数器	C.2.1
	气流方向和目检	B.7		示踪剂	C.7.1
				热风速计	C.7.2
				3维超声波风速计	C.7.3
				气溶胶发生器	C.7.4
				烟雾发生器	C.7.4
	温度	B.8			C.8
	一般温度	B.8.2.1		玻璃温度计	C.8.1
				温度计	C.8.2
				电阻温度计	C.8.3
				热敏电阻	C.8.4
	综合温度	B.8.2.2		玻璃温度计	C.8.1
				温度计	C.8.2
				电阻温度计	C.8.3
				热敏电阻	C.8.4
	湿度	B.9		湿度监测器（电容式）	C.9.1
				湿度监测器（毛发式）	C.9.2
				露点传感器	C.9.3
				测湿计	C.9.4
	静电与电离器	B.10			C.10
	静电	B.10.2.1		静电压计	C.10.1
				高阻欧姆计	C.10.2
				充电板监测器	C.10.3
	电离器	B.10.2.2		静电压计	C.10.1
				高阻欧姆计	C.10.2
				充电板监测器	C.10.3
	粒子沉降	B.11		验证板
				双目显微镜
				粒子沉降光度计	C.11.1
				表面粒子计数器	C.11.2
				粒子发生器	C.11.3
	自净时间	B.12		离散粒子计数器	C.12.1
				气溶胶发生器	C.12.2
				稀释系统	C.12.3
	密封性检漏	B.13			C.13
	离散粒子计数器法(DPC)	B.13.2.1		离散粒子计数器(DPC)	C.13.1
				气溶胶发生器	C.13.2
				稀释系统	C.13.3
	光度计法	B.13.2.2		光度计	C.13.4
				气溶胶发生器	C.13.2
a  测试人员可在第1列的格中按测试项目顺序为所选的测试方法编号。 b  在第4列中，测试人员可按所选的测试方法选择测试仪器。

5~14.2.17这些条文是对空气洁净度等级、微生物检测、风量和风速、静压差、高效空气过滤器安装后的检漏、气流流型、洁净室（区）的温度、相对湿度、密闭性测试、噪声、照度、微振控制、防静电等的检测作出了规定，这些条文的内容大部份是参照国际标准ISO14644.3《洁净室及相关受控环境——测试方法》及其附录的相关要求进行制定。这里要强调的是本规范中规定了①各种等级的洁净室（区）内的高效空气过滤器安装后均应进行检漏，可根据空气洁净度等级和建设单位的要求确定检测的数量，但不得低于30%；②对于空气洁净度等级严于5级的洁净室（区），应对围护结构进行密闭性测试。
14.2.18本条条文规定了洁净厂房的每项测试均应编写测试报告，并规定测试报告的主要内容，这是洁净厂房工程验收的重要依据，应严格地执行。

C.2.1 风速测试仪器可使用热球式风速计、超声风速计、叶片式风速计等；风量测试可使用带流量计的风罩、文丘里流量计、孔板流量计等。
C.2.2 单向流设施的截面风速、面风速和风量测试
C.2.2.1对单向流设施的风速测试，应将测试平面垂直于送风气流，该测试平面距离高效空气过滤器出风面150～300mm，宜采用300mm。将测试平面分成若干面积相等的栅格，栅格数量不少于测试截面面积（m2）的平方，测点在每个栅格的中心，全部测点不少于3点。
直接测量过滤器面风速时，测点距离过滤器出风面为150mm。将测试面划分为面积相等的栅格，每个栅格尺寸为600mm×600mm或更小，测点在每个栅格的中心。
每一点的持续测试时间至少为10秒，记录最大值、最小值和平均值。
 

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空气洁净度等级测试.doc

2.0.1 洁净室（区）  clean room(zone)
空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数和温度、湿度、压力等按要求进行控制。
2.0.2 悬浮粒子  airborne particles
用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1μm～5μm的固体和液体粒子。
1 粒径miacropartical size
由给定的粒子尺寸测定仪回应当量于被测粒子等效的球体直径。对离散粒子计数、光散射仪器采用当量光学直径。
2 超微粒子  ultrafine particle
当量直径<0.1μm的粒子。
3 宏粒子  micro particle
当量直径>0.5μm的粒子。
4 粒径分布 particle size distribution
粒子粒径频率分布和累积分布，是粒径的函数。
5 含尘浓度 particle concentration
单位体积空气中悬浮粒子的颗数。
2.0.3 洁净度 cleanliness
以单位体积空气中某粒子的数量来区分的洁净程度。
2.0.4 占用状态 occupancy  states
1 空态 as-built
设施已经建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。
2 静态 at-rest
设施已经建成，生产设备已经安装，按业主及供应商商定的状态运行，但无生产人员。
3 动态 operational
设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。
2.0.5 气流流型 air pattern
室内空气的流动形态和分布。
2.0.6 单向流 unidirectional airflow
沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。
2.0.7 非单向流  non-unidirectional airflow
不符合单向流定义的气流。
2.0.8 混合流 mixed airflow
单向流和非单向流组合的气流。
2.0.9 洁净工作区 clean working area
指洁净室内离地面高度0.8-1.5m（除工艺特殊要求外）的区域。
2.0.10 空气吹淋室  airshower
      利用洁净气流吹落并清除进入洁净室人员或物料表面附着粒子的小室。
2.0.11 气闸室  airlock
设置在洁净室出入口，为阻隔室外或相邻房间的污染气流和压差控制而设置的缓冲间。
2.0.12 传递窗    passbox
      在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的窗口。两侧窗扇的开启应进行联锁控制。
2.0.14 高效空气过滤器 HEPA（high efficiency particulate air filter）
      在额定风量下，对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流初阻力在250Pa以下的空气过滤器。
2.0.15 风机过滤器机组（FFU） Fan Filter Unit
      由高效空气过滤器（HEPA）或超高效空气过滤器（ULPA）与风机组合在一起，构成自身可提供动力的末端空气净化装置。
2.0.16 过滤器安装后检漏  installed filter leakage test
检查空气过滤器及其与安装框架连接部位等没有缺陷和泄漏。
2.0.17 漏风量  air system leakage ratio
      风管系统中，在某一静压下通过风管，附件及其接口，单位时间内泄漏或渗入的空气体积量。
2.0.18 漏光检测  air leak cheek with lighting
采用强光源对风管的咬口、接缝、法兰及其连接处进行透光检查，确定孔洞、缝隙等渗漏部位及数量的方法。
2.0.19 自净时间  cleanliness recovery characteristic
      洁净室被污染后，净化空调系统开始运行至恢复到稳定的规定室内洁净度等级的时间。
2.0.20 纯水  purify water
杂质含量很少的水，其电解质杂质含量（常以电阻率表征）和非电解质杂质（如微粒、有机物、细菌和溶解气体等）含量均要求很少的水。
2.0.21 常用气体  Bulk gas
指电子产品生产过程中广泛使用的氢气、氧气、氮气、氩气、氦气等气体。
2.0.22 特种气体 special gas
指电子产品生产过程中使用的硅烷、磷烷、乙硼烷、砷烷、四氯化硅、氯气等气体。这些气体具有可燃、有毒、腐蚀或窒息等特性。
2.0.23 化学品 chemical
      指电子产品生产过程中使用的酸、碱、有机溶剂、有机物质和氧化物等。
2.0.24 配管 piping
洁净厂房中，用以输送、分配工艺用水、纯水、各类气体、化学品等的管路系统的管子、附件、管件、法兰、螺栓连接件、垫片、阀门和其他组成件的组装总成。
2.0.25 热弯  hot bending
温度高于金属临界点AC1时的弯管作业。

注：1、“0～+5”表示该范围内除“0”外任一数字均可。

Wind scale and Wind speed，Wind force list  (for designed)

风级	名称 Wind name	风速 wind speed		风压W0=V2/16（kg/m2)，10N/m2	陆地地面物体征象	海面状态
		km/h	（m/s）
0	Calm无风	<1	0-0.2	0-0.0025	静	静
1	light air 软风	1-5	0.3-1.5	0.0056-0.014	烟能表示方向，但风向标不动	微波
2	light breeze轻风	6-11	1.6-3.3	0.016-0.68	人面感觉有风，风向标转动	小波
3	Gentle breeze微风	12-19	3.4-5.4	0.72-1.82	树叶及微枝摇动不息，旌旗展开	小波
4	Moderate breeze和风	20-28	5.5-7.9	1.89-3.9	能吹起地面纸张与灰尘	轻浪
5	Fresh breeze清风	29-38	8.0-10.7	4-7.16	有叶的小树摇摆	中浪
6	Strong breeze强风	39-49	10.8-13.8	7.29-11.9	小树枝摇动，电线呼呼响	大浪
7	Moderate gale疾风	50-61	13.9-17.1	12.08-18.28	全树摇动，迎风步行不便	巨浪
8	Fresh gale大风	62-74	17.2-20.7	18.49-26.78	微枝折毁，人向前行阻力甚大	狂浪
9	Strong gale烈风	75-88	20.8-24.4	27.04-37.21	建筑物有小损	狂涛
10	Whole gale狂风	89-102	24.5-28.4	37.52-50.41	可拔起树来，损坏建筑物	狂涛
11	Storm 暴风	103-117	28.5-32.6	50.77-66.42	陆上少见，有则必有广泛破坏	狂涛
12	Hurricane飓风	>117	32.7-36.9	66.42-85.1	陆上极少见,摧毁力极大	海浪滔天

尘埃粒子计数器的基本知识

尘埃粒子计数器的原理、应用及组成

1.引言
目前尘埃粒子计数器的用户越来越多，广泛应用于医药、电子、精密机械、彩管制造、微生物等行业中，实现对各种洁净等级的工作台、净化室、净化车间的净化效果、洁净级别进行监控，以确保产品的质量。
尘埃粒子计数器是用来测量空气中微粒的数量及大小的仪器，从而为空气洁净度的评定提供依据。常见的尘埃粒子计数器是光散射式（DAPC）的，测量粒径范围0.1-10μm，此外还有凝聚核式的尘埃粒子计数器（CNC），可测量尺寸更小的尘埃粒子。本文将介绍光散射式尘埃粒子计数器。

2.工作原理
基本原理是光学传感器的探测激光经尘埃粒子散射后被光敏元件接收并产生脉冲信号，该脉冲信号被输出并放大，然后进行数字信号处理，通过与标准粒子信号进行比较，将对比结果用不同的参数表示出来。空气中的微粒在光的照射下会发生散射，这种现象叫光散射。光散射和微粒大小、光波波长、微粒折射率及微粒对光的吸收特性等因素有关。但是就散射光强度和微粒大小而言，有一个基本规律，就是微粒散射光的强度随微粒的表面积增加而增大。这样只要测定散射光的强度就可推知微粒的大小，实际上，每个粒子产生的散射光强度很弱，是一个很小的光脉冲，需要通过光电转换器的放大作用，把光脉冲转化为信号幅度较大的电脉冲，然后再经过电子线路的进一步放大和甄别，从而完成对大量电脉冲的计数工作。此时，电脉冲数量对应于微粒的个数，电脉冲的幅度对应于微粒的大小。

3.光散射式粒子计数器的基本原理

3.1光源
光源是尘埃粒子数器的关键部件，对仪器的性能影响很大。光源要求稳定性高、寿命长、不受干扰。
光源有普通光源和激光光源两种。普通光源为碘钨灯，体积大、发热量高、寿命短，开机后需要预热。激光光源为激光器，体积小、稳定性高、寿命长，常与检测腔及光检测器做成一体，组成传感器。常见的激光光源有HeNe激光器、激光二极管。
采用普通光源的尘埃粒子计数器对0.3μm以下的微粒信号响应很低，其信号幅度与计数器本身的噪声幅度相差无几，信号很难从噪声中检测出来。此类仪器虽然标有0.3μm这一通道，但只适于测定大于0.3μm特别是0.5μm以上的微粒。
由于激光的单色性好，光能量集中稳定，所以采用激光光源的尘埃粒子计数器其传感器有较高的信噪比，此类仪器有些能检测到0.1μm的微粒。

3.2测量腔
测量腔是进行微粒观测的空间，被采集的空气要从测量腔内穿过。仪器的光学系统使光源经透镜、狭缝照射到测量腔中，形成一个体积约几个立方毫米的光敏感区。当空气中的尘埃通过光敏感区时，会散射出一部分光能量，被与入射光成一角度（90度或70度）的集光透镜收集，再投射到光检测器上。

3.3光检测器
光检测器是将散射光能量转换为电信号的光电转换器件。尘埃粒子计数器中最常用的光检测器是光电倍增管和光电二极管。
光电倍增管把光电子放大几万倍后转换成几个毫伏到几十毫伏的电信号，具有光谱线性好、响应时间快、暗电流小的优点，缺点是体积大。光电倍增管工作时需加上几百伏特的负高压，仪器中有相应的高压产生电路，在对仪器进行调试或校准时应注意安全。
光电二极管是一种受到光照后能产生电子的半导体元件，具有体积小、外围电路简单的特点，常与检测腔做成一体。

3.4流量监控
尘埃粒子计数器的采样流量一般为2.83L/min或28.3L/min，进口仪器常标识为0.1cfm（立方英尺每分钟）或1cfm，主要是为了便于进行符合Fed-Std-209E的洁净度的计算。
大流量的采样（28.3L/min）更能准确地反映空气的洁净状况，但使最大采样浓度降低。

3.5气泵及过滤器
气泵位于仪器内部，使仪器产生采样流量。气泵要求噪音低、振动小、产生的气流稳定。过滤器应能过滤掉0.3μm以上的微粒，以免从仪器排出的空气对洁净区产生影响。

3.6电路系统
不同粒径大小的粒子经尘埃粒子计数器的光电系统转换后，会产生不同幅度（电压）的电脉冲信号，粒径越大，脉冲电压越高。信号电压与粒径之间的关系，也叫转换灵敏度。对于给定的尘埃粒子计数器，粒径大小与脉冲电压是一一对应的，例如某台尘埃粒子计数器的转换灵敏度为0.3μm对应69mv，0.5μm对应531mv，1.0μm对应701mv等，若尘埃粒子计数器检测到一个脉冲为100mv，则这个粒子的大小肯定大于0.3μm而小于0.5μm。
尘埃粒子计数器是测量大于等于某一粒径的粒子数量的仪器，其内部电路就是统计大于等于某一电压值的脉冲数量的电路。对于上段中的例子，测量空气中大于等于0.3μm粒子的数量，在电路中就是统计大于等于69mv的脉冲的个数，测量大于等于0.5μm粒子的数量，在电路中就是统计大于等于531mv的脉冲的个数，依此类推。所以仪器对尘埃粒子的测量，主要靠转换灵敏度这个参数。
另外需要说明的是，每台尘埃粒子计数器的转换灵敏度均不同，在出厂时及以后须定期用标准粒子进行校准，以获得最佳转换灵敏度值。
电路系统就是完成对脉冲信号的放大、甄别、计数的电路。此外还包括电源、控制、显示、计算、打印等电路。

使用粒子计数器的注意事项.

1、当入口管被盖住或被堵塞，不要启动计数仪。
2、粒子计数器应该在洁净环境下使用，以防止对激光传感器的损伤。
3、不要测有可能产生反应的混合气体（如氢气和氧气）。这此气体也可能在计数器内产生爆炸。测这些气体需与厂家联系为取得更多的信息。
4、没有高压减压设备（如高压扩散器）不要取样压缩空气，所有的颗粒计数仪被设计用于在一个大气压下操作。
5、水，溶液或其它液体都不能从入口管进入传感器。
6、颗粒计数仪主要用来测试净化车间干净的环境，当测的地方有松散颗粒的材质，灰尘源，喷雾处时，须最少保持距进口管至少十二英寸远。以免以上的颗粒及液体污染传感器及管路。
7、取样时，僻免取样从计数器本身排出来的或被计数器出来的气体所污染的气体。
8、在连接外置打印机或连接外接温湿度传感器时，需先关掉计数器；当执行打印操作时，打印机上须有打印纸，否则会损伤打印头。

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长期以来， 国内的粒子计数器的生产和计量标定都是依据国家标准局1985 年颁布的“尘埃粒子计数器性能试验方法（GB/T 6167.1 ~ 6167.2-85）和国家标准局1988年颁布的国家计量检定规程（JJG 547-88）， 这两个标准与国际上通用的标准， 例如，日本工业标准 （JIS）和美国标准测试标准（ATSM），有相当大的差距， 使得中国粒子计数器的生产和研发也处于落后的状态， 鉴于国内广泛存在的对粒子计数器的计量标定和校准存在的问题，赛纳威的林海博士近几年在国内粒子计数器领域大力倡导多通道信号分析仪为作为校准粒子计数器的检定工具，目前国内有关权威机构都纷纷采用多通道信号分析仪作为必备的测试仪器。从而为中国在粒子计数器行业缩小与国际标准的差距创造了良好的条件。

一、 粒子计数器标定方法概述
标定，就是确定不同粒径所对应的通道数（或电压值）。不同的设计方案，不同的采样方式，不同的分辩、记录电路都使这个值不同。即使是同型产品，也因各种原因造成各台仪器之间的差异，所以必须进行标定。例如， 传感器信号输出经交流耦合产生的信号脉冲必然产生过冲和振铃，可能会产生多余计数。而涡流、管壁的吸附作用也可能引起粒子被重复计数。仪器使用一段时间后，由于多种原因（如温度变化、元件老化等）引起仪器的“漂移”，所以国家标准规定和国际惯例，任何粒子计数器使用一年后必须进行标定。标定光学粒子计数器的标准一般是用一种均一的聚苯乙烯微粒(PSL)纳米微粒尺度标准，它是由NIST 可溯源的纳米级计量法标定。1 纳米是1 米的十亿分之一长度，0.001微米（μm） ，或10 个埃单位。 纳米微粒尺度标准通常是装在一个滴瓶型小瓶包装的水性悬浮液。PSL 微粒浓度是通过综合优化了易分散性和胶体稳定性而确定的。水性悬浮液介质包含一定量的分散剂，有助于防止粒子结块或在粒子计数器表面的流动。PSL微球的密度是1.05g/cm3，折光系数为1.59@589nm。
　

1、 单一标准粒子标定法
又称为“一级标定”方法，是目前世界上各个粒子计数器生产厂家普遍采用的最准确的方法， 它主要采用PSL 标准粒子和多通道信号分析仪对粒子计数器进行标定。连接图如下。

　

图1 一级标定法框图

2、 单一或混合标准粒子比较标定法
又叫“二级标定”或比较法，是用参考标准粒子计数器（常称为检测、标定“母机”）与被测粒子计数器作对比完成标定。标定连接图如下。

　

图2 比较标定法框图
二、 主要检定参数的定义和标准
严格地讲，对于一台粒子计数器，需要检测和标定有四个最主要参数：计数效率、计数准确度（灵敏度）、流量准确度和零计数。这四个参数互相制约, 使得设计一个高质量标准粒子发生器的传感器具有极强的挑战性. 也是国内其它粒子计数器制造商与国外先进水平的差距所在. 其它参数如重叠损失、测量重复性等属于制造商设计常规自检范畴。
• 计数效率
根据JIS（日本工业标准）：0.3μm 要求50％±20％的计数效率；而在0.3 μm 处检测0.45μm（0.3 的1.5 倍，通常检测选择用0.5μm 代替）的计数效率，要求达到100％±10％。 一般情况下是由比较法来完成，溯源性是由电镜计数而产生一级母机来保证。用对比法产生二级母机。二级母机可以作为参照标准，但不能再比对生产新的母机。
• 计数准确度（灵敏度）
一台粒子计数器能否具有所称检测粒子的灵敏度是由高精度的门限电路及其相关电路的分辨率和准确性来保证， 最可靠的方法就是采用高精度多通道信号分析仪来检测。电压标准均需可溯源
• 流量准确度
需要高精度可溯源的流量计来检测标定。
三、 主要检定参数的定义和标准
1、 标定的实施
粒子计数器的计数属于统计学范畴，所以其标定也就取其D50 为（50％计数总值，通常表示为“D50”，其含义为：一个样品的累计粒度分布百分数达到50%时所对应的粒径。它的物理意义是粒径大于它的颗粒占50%，小于它的颗粒也占50%，D50也叫中位径或中值粒径。D50 常用来表示粉体的平均粒度。一个粒径的检测对应于一个“门电压”的设定。门限电路及其相关电路的分辨率和准确性最可靠的方法就是采用高精度的多通道信号分析仪来完成。一般情况下，一台粒子计数器需要标定3～6 个粒径，通常取0.3、0.5、0.7、1.0、2.0 和5.0μm。对于医药、食品和室内环境行业所选用的2～3 通道粒子计数器（粒径为0.5、2.0(2.5)和5.0 μm），其标定也就只对所要求的粒径进行。

2、 D50 的“门限电压”的获得
对于任何一种粒径，其测得的柱状图都如图3 所示。从“噪声点”开始，对峰值取对称点，这2 点之间的测量数据为有效值。计算有效值区间内的D50作为标定值，其对应的电压值（或通道数）就为该仪器的此粒径点。如此标定的粒径不是柱状图的峰值位置。
D

　

图3 标定算法说明图示

3、标定曲线
对于各种标准粒径如0.3、0.5、（0.7）、1.0、（2.0 或5.0）μm 分别测得D50“门限电压”后，就能够绘制出标定曲线（如图4 所示）。
　

　

图5 标定曲线
将以上粒径与门电压关系曲线存入粒子计数器，对于可变粒径的粒子计数器 就作为新选粒径的依据。图7 是粒子计数器所用的传感器用多道分析仪或脉冲高度分析仪标定的示意图(俗称柱状图).

　

图6 用多道分析仪标定赛纳威粒子计数器所用的传感器示意图

四、 赛纳威检测标定方法

　

图6 赛纳威粒子计数器检测标定示意图

1. 标准计数器用”一级标定”方法产生, 必须用单一标准粒子和多道分析仪来校准标定.
2. 生产的待测计数器可用”一级标定”方法或单一或混合标准粒子比较标定法(“二级标定”)来校准标定.用户应从粒子计数器制造商获得相关的标定信息和柱状图从而判断是否该制造商是否能够提供高质量的粒子计数器.

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KANOMAX 3887L:  0.5 、5.0 ，2通道，中文菜单显示

KANOMAX 3887: 0.3 、 0.5 、 5.0um，3通道，英文菜单显示

KANOMAX 3887C: 0.3 、 0.5 、 5.0um，3通道，中文菜单显示

KANOMAX 3887D: 0.3 、 0.5 、 1.0 、 3.0 、 5.0um，5通道，中文菜单显示

KANOMAX 3886: 0.3 、 0.5 、 1.0 、 3.0 、 5.0um，5通道，英文菜单显示

KANOMAX 3900: 0.3 、 0.5 、 1.0 、 3.0 、 5.0 、 10.0um，6通道，英文菜单显示

机种型号主要参数	3887L	3887	3887C	3887D	3886	3900
测试粒子径	0.5 、 5.0um	0.3 、 0.5 、 5.0um		0.3 、 0.5 、 1.0 、 3.0 、 5.0um		0.3 、 0.5 、 1.0 、 3.0 、 5.0 、 10.0um
操作界面	中文	英文	中文	中文	英文	英文
流量	0.1cfm （ 2.83L /min ）					1.0cfm （28.3L/min）
采样时间	1sec ～ 99min59sec					1sec ～ 24h
数据存储	3000	10000	7000	7000	500	5000 （ CF 卡）
测试方式	单一、国标	单一、重复、连续、计算、远程、国标、 ISO （仅 3887C/3887D ）				一般、统计、标准（各种测试标准）